低能电子点源显微镜的研制及初步实验结果  

Development of a Low-Energy Electron Point Source Microscope and Some Initial Experimental Results on It

作　　者：柏鑫[1] 肖桂里 于洁[1] 张兆祥[1] 郭等柱[1] 赵兴钰[1] 薛增泉[1] 张耿民[1] 

机构地区：[1]北京大学信息科学技术学院电子学系纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京100871 [2]北京普莱思科技有限责任公司

出　　处：《现代科学仪器》2006年第5期49-52,共4页Modern Scientific Instruments

基　　金：国家自然科学基金委员会支持(项目批准号60231010)

摘　　要：研制了一台集低能电子点源显微镜和场发射显微镜于一体的设备。研制的过程中,解决了包括超高真空的获得,外界振动的隔离,爬行器及其控制电路的设计,场发射电流-电压自动测量,超高真空换样等一系列问题。利用该设备,获得了放大倍数大于104的投影像,并且测量了单根多壁碳纳米管的场发射特性。A facility has been developed that can function as a low-energy electron point source （LEEPS） microscope or a field-emission microscope （FEM）. During the development, the following problems were tackled： the obtainment of ultrahigh vacuum （UHV）, the isolation of external vibration, the design of the inch-worm and its controlling circuit, automatic measure- ment of the curves of field emission current versus applied voltage （I-V curves） and sample transfer in UHV, etc. In the initial run, projection images with a magnification larger than 10^4 were achieved and I-V curves of a multiwalled carbon nanotube （MWCNT） were also acquired.

关 键 词：低能电子点源显微镜 场发射显微镜 场发射特性 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]