氢传感器的研究进展  

The research status of hydrogen sensor

作　　者：唐一科[1] 刁显珍[2] 侯长军[2] 范瑛[3] 

机构地区：[1]重庆大学机械传动国家重点实验室,重庆400030 [2]重庆大学化学化工学院,重庆400030 [3]中国工程物理研究院结构力学研究所,四川绵阳621000

出　　处：《传感器与微系统》2006年第11期9-11,14,共4页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10376045);重庆市自然科学基金资助项目(8418)

摘　　要：氢气广泛地应用于航天和其他工业中,但其极易泄露、易燃、易爆,因此,对于氢传感器的研究显得十分迫切。综述了复合稀土氟化物氢传感器、半导体氧化物氢传感器、表面等离子钯膜氢传感器的国内外研究进展情况,着重对半导体氧化物氢传感器的原理、结构、性能以及取得的研究成果进行了介绍,并提出了氢传感器的发展方向和前景。The hydrogen gas is used widely in spaceflight and industry, but it is easily leaked, burned and exploded, the research of hydrogen sensitive sensor is very exigent. The research status of complex thulium fluoride hydrogen sensitive sensor,semiconductoroxide hydrogen sensor and palladiumof surface plasmhydrogen sensor are summarized. The research achievement of semiconductor oxide hydrogen sensor in theory, structure and properties are introduced. The development prospect of hydrogen sensor is provided.

关 键 词：氢传感器 气体传感器 研究进展 

分 类 号：TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]