磁弹性型磁致伸缩多层膜的研究与开发  

R&D of magnet-spring-type magnetostrictive multilayers

作　　者：陈鸿彬[1] 周白杨[1] 姜华[1] 邓光华[1] 

机构地区：[1]福州大学材料科学与工程学院,福建福州350002

出　　处：《真空》2006年第6期22-25,共4页Vacuum

基　　金：福建省科委高新技术与火炬计划(99-H-44);福州大学科技发展基金(XKJ(QD)-01/3);福建省高校测试基金(JC200044)

摘　　要：本文介绍了近年来对磁弹性型磁致伸缩多层膜的研究与开发,论述了研究过程中所探索出的一些多层膜的制备理论;探讨了包括多层膜的靶材选择、单层膜厚、层数、组织结构和真空热处理对其性能的影响。The current R＆D situation of magnet-spring type magnetostrictive multilayers （MSMM） is introduced. The preparation process of the multilayers, including targets choice, monolayer thickness, number of layers, structure and vacuum heat treatment, is discussed theoretically, as well as how they affect the performance of the multilayers.

关 键 词：磁数伸缩 多层膜 真空溅射 

分 类 号：TM271[一般工业技术—材料科学与工程] TB43[电气工程—电工理论与新技术]