一种无阀压电微泵的研究  

A Valveless Piezoelectric Micropump

作　　者：王海宁[1] 崔大付[1] 耿照新[1] 刘长春[1] 陈兴[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100080

出　　处：《压电与声光》2006年第6期668-670,共3页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：国家自然科学基金重点项目(60427001);国家自然科学基金重大项目(20299030)

摘　　要：介绍了一种适用于微流体系统的无阀微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成扩散口/喷口结构,并利用压电双晶片作为驱动部件。该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能。对于使用15 mm长的压电双晶片作为驱动器的压电无阀微泵,在100 V6、0 Hz、占空比为1的方波驱动下,最大流速可达151μL/min。A valveless micropump suitable for microfluidic system is presented. This micropump utilizes poly-dimethylsiloxane （PDMS） as diaphragm, a diffuser and a nozzle unit is formed by anisotropic etching of bulk silicon, and a piezoelectric bimorph is used as the actuator. This micropump is easy to fabricate and has a long lifetime. It can actuate liquid stably. For a micropump which has a 15 mm long piezoelectric bimorph as the actuator, a maximum flow rate of 151 μL/min can be realized with 100V, 60 Hz square wave signal which has duty ratio of 1：1.

关 键 词：无阀 微泵 压电双晶片 PDMS 

分 类 号：TH302[机械工程—机械制造及自动化]