ZnO纳米线原位生长的ESEM方法  

In-Situ Growth of ZnO Nano-Wire with Environmental Scanning Electron Microscope

作　　者：田彦宝[1] 吉元[1] 付景永[1] 张隐奇[1] 权雪玲[1] 张跃飞[1] 郑善亮[1] 韩晓东[1] 

机构地区：[1]北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京100022

出　　处：《真空科学与技术学报》2006年第6期487-490,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.60171024);北京教委资助项目(No.200610005030);北京工业大学研究生科技基金(No.ykj-2005-066)

摘　　要：以环境扫描电镜(ESEM)为基础,配置氧气微注入系统及加热台附件,作为ZnO纳米线生长的微型实验室。实验结果表明,纯Zn片在环境压力为1×10-2Pa和300℃的环境条件下,可原位反应生成直径几十纳米的、较均匀的ZnO纳米线。ZnO nanowires have been successfully grown and characterized in-situ with environmental scanning electron microscope（ESEM） .The micro-injector and heater stage of the ESEM were used to grow ZnO nanowire in-situ at an 02 partial pressure of 1×10^-2 Pa and a Zn substrate temperature of 300℃. The ZnO nanowires, 40 nm ～ 60 nm long, were found to be fairly uniform.

关 键 词：ZNO纳米线 环境扫描电镜 气体微注入 

分 类 号：TB303[一般工业技术—材料科学与工程]