激光微调系统的自定方位,自对焦和自测试诊断功能  

作　　者：陈明廉 张火 

出　　处：《电气自动化》1990年第5期35-39,共5页Electrical Automation

关 键 词：集成电路 激光微调 测试 诊断 

分 类 号：TN450.7[电子电信—微电子学与固体电子学]