基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量  

Out-of-Plane Motion Measurement Method of Micro-Structures Based on Time-Averaged Interferometry

作　　者：陈津平[1] 郭彤[1] 胡春光[1] 栗大超[1] 胡晓东[1] 傅星[1] 胡小唐[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《天津大学学报》2006年第B06期125-128,共4页Journal of Tianjin University(Science and Technology)

基　　金：国家863计划项目(2004AA404042);博士后科学基金项目资助.

摘　　要：微机电系统(MEMS)动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位．提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法．该系统基于Mirau显微干涉技术,以时间平均干涉法实现可动微结构离面动态特性的测量．系统采用4步相移调制方法得到调制干涉条纹对比度的零级Bessel函数分布．在微谐振器件上进行的实验说明系统可以测量任意频率的离面运动,水平分辨力在微米范围内,离面探测极限在5nm左右．presented An optical measurement system and method for out-of-plane motion testing of micro-structure are in the paper. Based on the Mirau microscopic interferometry and time-averaged interferometry, system realize the measurement of the out-of-plane dynamic properties of movable micro-structures. To map the zero-order Bessel function modulating the contrast of two-beam interference fringes, the 4-step phase-shift tech-nique is applied. The experiment on a micro-resonator demonstrates that out-of-plane motion can be measured at any frequency with a lateral resolution in the micron range and a detection limit around 5 nm.

关 键 词：微结构 时间平均干涉法 离面运动 快速测量 

分 类 号：TH741.4[机械工程—光学工程]