在线化学气相淀积法镀硅膜玻璃的理论研究  

作　　者：汪建勋[1] 李春华[1] 孔繁华 刘军波 

机构地区：[1]秦皇岛玻璃工业研究设计院,066001

出　　处：《玻璃》1996年第4期42-43,38,共3页Glass

摘　　要：本文论述了多晶薄膜在玻璃基片上淀积的原理及主要影响因素,阐明了薄膜淀积的总速率是由玻璃基片的表面反应速率和反应剂分子扩散到玻璃表面的扩散速率决定的。硅烷浓度,玻璃板运动速率等因素也是重要影响参数。

关 键 词：化学气相淀积 镀硅膜 玻璃 镀膜玻璃 

分 类 号：TQ171.729[化学工程—玻璃工业]