超薄栅介质的可靠性分析  

作　　者：张安康 

出　　处：《电子产品可靠性与环境试验》1990年第1期17-24,共8页Electronic Product Reliability and Environmental Testing

关 键 词：MOS 集成电路 超薄栅栅介质 可靠性 

分 类 号：TN432.06[电子电信—微电子学与固体电子学]