CVD金刚石的晶体形态及界面位向关系  

Crystal Morphology and Interfacial Orientation Relationship of CVD Diamond

作　　者：黄元盛[1] 刘宏伟[2] 邱万奇[3] 罗承萍[3] 陈灵[3] 

机构地区：[1]韶关学院机电系,韶关512005 [2]广西大学机械工程学院,南宁530004 [3]华南理工大学机械工程学院,广州510640

出　　处：《材料导报》2007年第1期30-32,共3页Materials Reports

基　　金：广东省自然科学基金项目(04300026);韶关市科技计划项目(2004-14)

摘　　要：综述了CVD金刚石的晶体形态及界面位向关系。用SEM观察CVD金刚石晶粒形态主要有立方体、长方体、八面体、立方八面体、孪晶八面体、十面体和二十面体颗粒以及球形金刚石,讨论了晶粒的形成条件。用TEM观察则主要有单晶体、孪晶八面体和五重孪晶体形态。界面位向关系主要有:Si(001)//Diamond(001),Si<110>//Diamond<110>;Si(111)//Diamond(111),Si<110>//Diamond<110>和Si(110)//Diamond(110),Si[110]//Diamond[111]。The morphology and intedacial orientation relationship of CVD diamond are summarized in combination with authors＇ research. The morphologies of diamond include cube, cuboid, octahedron, cuboctahedron, twinned cuboctahedron, decahedron and icosahedron and ball-like diamond using SEM observation. The formation condition of the grains is discussed. Three TEM morphologies are observed, single crystal, twinned cuboctahedron and five-fold twined grains. The interfacial orientation relationships mainly include Si （001） //Diamond （001）, Si 〈110〉//Diamond 〈110〉;Si （111） // Diamond （111）,Si 〈110〉 // Diamond 〈110〉, and Si （110） // Diamond （110）,Si [110]// Diamond [111].

关 键 词：金刚石 晶体形态 界面位向 

分 类 号：TN304.18[电子电信—物理电子学]