SOI基光耦合器研究进展  

The Progress of Silicon-on-insulator Couplers

作　　者：刘艳[1] 余金中[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京100083

出　　处：《激光与红外》2007年第1期18-21,共4页Laser & Infrared

基　　金：国家自然科学基金(60336010);973项目(G20000366);863项目(2002AA312060)资助

摘　　要：文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展,着重介绍了目前耦合效率最高(55%),且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性。In this paper the latest progress of optical couplers is reviewed. The emphasis is placed on the fabrication, structures of the most efficient （55%） dual grating-assisted directional coupler and the pessibility of further improving the coupling efficiency.

关 键 词：耦合器 双光栅辅助定向耦合器 耦合效率 

分 类 号：TN622.2[电子电信—电路与系统]