快速热处理法制备单晶硅太阳能电池  

Monocrystalline silicon solar cells fabricated by rapid thermal processing

作　　者：花聚团[1] 杨德仁[1] 席珍强[1] 倪利红[1] 阙端麟[1] 

机构地区：[1]浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027

出　　处：《材料热处理学报》2006年第6期10-13,共4页Transactions of Materials and Heat Treatment

基　　金：国家"十五"科技攻关计划(2004BA410A02);教育部留学回国人员基金;浙江省自然基金项目(Y105468)

摘　　要：利用快速热处理(RapidThermalProcessing,RTP)技术,成功制备了单晶硅太阳电池。在三个重要的热处理环节(磷扩散制作P-N结、热氧化、电极烧结)采用了快速热处理法,电极制作采用了丝网印刷。初步研究,用大面积的单晶硅片制备出转换效率为11%、开路电压为564.6mV、短路电流密度为30.7mA/cm2的太阳电池。Monocrystalline silicon solar cells were successfully fabricated by rapid thermal processing(RTP) technique,which include rapid thermal phosphorus diffusion,oxidation and metallization.The initial work has resulted in a 62 cm2 cell with conversion efficiency of 11% ,open voltage of 564.6 mV and short current density of 30.7 mA/cm2 on 1 Ω·cm Cz Si using rapid thermal processing technique and screen-printing (SP) technique for the front and back contacts.

关 键 词：快速热处理(RTP) 硅 太阳电池 

分 类 号：TK514[动力工程及工程热物理—热能工程]