扩散硅压力传感器在水文中的应用  

作　　者：刘伯林 

出　　处：《世界电子元器件》1996年第9期46-47,共2页Global Electronics China

摘　　要：本文仅以L18系列为例,简介固态压阻传感器及其在测量水文一些要素中的应用。 各种进口扩散硅系列固态压阻传感器均以单晶硅为基体,按特定晶体面,根据不同的受力形式分别加工成杯、梁、柱、膜等形状作为弹性应变元件,在弹性应变元件的适当位置。

关 键 词：水文 压力传感器 扩散硅系列 应用 

分 类 号：P33[天文地球—水文科学] TH812[水利工程—水文学及水资源]