一种Bi—CMOS兼容集成技术的研究  

作　　者：江鸿 谢世健 张安康 

出　　处：《电子器件》1990年第3期16-18,共3页Chinese Journal of Electron Devices

摘　　要：把双极型晶体管和CMOS器件制作在同一芯片上的Bi—CMOS技术越来越引人注目.本文介绍了一种Bi-CMOS兼容集成技术的器件结构设计、工艺制作和实验结果.该技术已用于一种多功能程控集成闪光电路.

关 键 词：Bi-CMOS兼容 集成技术 结构设计 

分 类 号：TN432[电子电信—微电子学与固体电子学]