WinCC在MOCVD系统中的应用  

Application of WinCC in MOCVD

作　　者：黄军荣[1] 过润秋[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学机电工程学院,西安710071

出　　处：《自动化与仪表》2007年第1期57-59,共3页Automation & Instrumentation

基　　金：陕西省自然科学基金资助项目(2004F29);陕西省科学技术研究发展计划项目(2004k05-G1)

摘　　要：针对所研制的MOCVD设备,对其系统控制原理进行了分析,介绍了WinCC监控界面的设计与实现,并利用C脚本和VB全局脚本解决了多变量传输导致的PLC内存消耗大、通讯速度慢、画面更新延迟等现象,实现了批量修改和以日志方式保存数据的功能。The control principle of the MOCVD system is analyzed in this paper,and its monitor interface is proposed based on WinCC.Some problems caused by multi-variables transmission in real-time communication are discussed and it is solved by using C-script or VB-script.A new method of batch modification and data-saving is accomplished.

关 键 词：组态软件WINCC 半导体材料生长 C脚本 VB脚本 

分 类 号：TP311[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]