首个高纯微电子化学品项目投产  

出　　处：《无机化工信息》2006年第3期31-32,共2页Inorgaic Chemical News

摘　　要：经过一年多的建设，年产15000吨的我国首个超净高纯微电子化学品项目于2006年9月在上海华谊微电子材料有限公司建成投产。项目包括了大规模集成电路制造所需的超净高纯硫酸、硝酸、盐酸、醋酸、氨水、氢氧化铵、双氧水等各种主要化学品，改变了国内此类产品完全依赖进口的状况。

关 键 词：电子化学品 项目 高纯 投产 集成电路制造 微电子材料 氢氧化铵 双氧水 

分 类 号：TQ133.1[化学工程—无机化工]