KYKY2000型电镜电子光学控制系统  

作　　者：马瑗[1] 王克定[1] 

机构地区：[1]中国科学院科学仪器厂

出　　处：《电子显微学报》1990年第3期293-293,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：KYKY2000型扫描电子显微镜电子光学控制系统的主要特点是:具有自动聚焦、自动消象散、自动对中以及自动亮度和对比度等控制功能。该系统全部采用了数字化电路,利用无级连续调节增强电路的可靠性,保持了一般扫描电镜传统的手动调整功能,实现了自动控制调节透镜的功能。本系统是采用一个Z80微处理机及相应的内存和外设接口,由软件来控制物镜、聚光镜、X,Y对中、X,Y消象散器以及亮度和对比度组成的各组电源。数字控制电路通过各组透镜的单功能键和一个公用光电编码器输出脉冲,产生数字控制信号,用D/A变换器把数字量转换成模拟参考电压,并沿用原KYKY1000B电镜成熟的模拟电路功率输出部分,完成各组透镜电流的手动调整。

关 键 词：电镜 电子光学 控制系统 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]