压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量  

Rotation-angle-accuracy measurement of piezo tilt platform

作　　者：高亮[1] 阚珊珊[1] 李敏[1] 尼启良[1] 陈波[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

出　　处：《光学精密工程》2007年第2期206-211,共6页Optics and Precision Engineering

基　　金：国家自然科学基金(No.60223003)

摘　　要：提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的PV(Peak Valley)值,二者的差值除以待测标准平面镜的直径,其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度。通过测量与误差分析,验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1μrad(0.2″),而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关,移动距离越大,产生的误差越大,但其相对误差小于1%。本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜(EUT)0.8″的角分辨率的要求。A sub-arc second-accuracy method for measuring rotation-angle was proposed. The tiny rotation-angle of the PZT was obtained using the diameter of the reference flat mirror divide the difference between the PVs when PZT move and don＇t move. By measuring and analyzing, the rotation angle accuracy of the PZT is less than 1 μrad（0.2＂）. The total error changes with the rotation angle of the PZT, but its relative error was smaller than 1%. The result indicates that the measuring technique can meet the resolution of the EUT to 0.8＂.

关 键 词：极紫外太阳望远镜 ZYGO干涉仪 压电陶瓷转动平台 转角精度 

分 类 号：TH751[机械工程—仪器科学与技术] TB92[机械工程—精密仪器及机械]