用于监控电镀槽液的CVS技术  被引量:2

Monitor Plating Bath by CVS (Cyclic Voltammetric Stripping)

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作  者:林振庭 Peter Bratin 王福清 

机构地区:[1]ECI Technology Inc.,NewJersey,U.S.A. [2]王氏港建中国有限公司,上海200333

出  处:《电子工业专用设备》2007年第2期14-17,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘  要:介绍CVS应用技术。CVS是目前半导体以及电路板业界最受广泛采用,监控电镀液中有机添加剂的技术。CVS精确分析所得的结果,可以用来作为离线或在线添加有机添加剂的依据,以保障槽液的品质。本文详细讨论CVS技术的电化学原理,并提供应用实例以作进一步解说。This article will detailed introduce the fundamentals of Cyclic Voltammetric Stripping (CVS), and meanwhile gives some examples to explain its applications. CVS is a patented technique by ECI company, currently is widely used in semiconductor and PCB industry, to monitor the concentration of organic additives and their breakdown products in plating bath. Based on the quantitative resuits of additives by CVS, the plater can precisely replenish the additives online or offiine to keep the bath operating properly.

关 键 词:电镀 电化学 有机添加剂 抑制剂 光亮剂 

分 类 号:TQ153[化学工程—电化学工业]

 

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