1994～1995年日本气体设备综述  

出　　处：《低温与特气》1996年第4期6-10,共5页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：１９９４～１９９５年日本气体设备综述１空分装置１．１低温空分装置１９９４年制作的低温空分装置总计为２７台，比上一年增加３台，实际上无大型装置出现。大型装置主要用于在电子工业中生产Ｎ２。所制造的２７台装置中有１１台用于半导体工业，小型现场装置的数量正在...

关 键 词：气体设备 综述 日本 

分 类 号：TQ116.11[化学工程—无机化工] TB657.7[一般工业技术—制冷工程]