量热式质量流量计及其在氟化氢流量测量中的应用  

A Calorimeter-Type Mass Flowmeter and Its Applications in HF FlowMeasurement

作　　者：勾厚政 

机构地区：[1]南京机械高等专科学校,南京市210013

出　　处：《仪表技术与传感器》1996年第12期23-27,共5页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：介绍了一种量热式质量流量计的原理,并较详细地说明了用于氟化氢质量流量测量流量计的结构、测试与应用。该流量计可用于其它气体质量流量的测量。A calorimeter-type mass flowmeter is proposed in this paper. The working principle, structure, and applications of an HF mass flowmeter is presented in detail. The mass flowmeter is also suitable for applications in other gases.

关 键 词：量热式 质量流量计 氟化氢 流量测量 

分 类 号：TH814.607[机械工程—仪器科学与技术]