等离子体源离子注入柱形空心阴极内表面的蒙特—卡罗模拟  

MONTE CARLO SIMULATION OF IONS INSIDE A CYLINDRICAL BORE FOR PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION

作　　者：孔令宜[1] 张连珠[1] 栗平[1] 

机构地区：[1]河北师范大学物理科学与信息工程学院,石家庄050016

出　　处：《山东师范大学学报（自然科学版）》2007年第1期73-75,共3页Journal of Shandong Normal University(Natural Science)

摘　　要：采用蒙特—卡罗方法对柱形空心阴极的氮离子(N+,N2+)注入进行了研究,考虑了氮离子与中性原子的电荷交换和弹性碰撞,计算了氮离子在不同压强下鞘层内表面的能量分布及角分布.The ions（N^＋ , N2^＋ ）transport processe at the interior sidewall of a large cylindrical bore is studied by using Monte Carlo simulation. The ion - neutral charge exchange and elastic collision are taken into account. We calculate the energy distribution and angular distribution under different pressure.

关 键 词：等离子体源离子注入 柱形空心阴极脉冲放电 蒙特卡罗模拟 

分 类 号：O539[理学—等离子体物理]