高精度电容位移传感器设计  

The Design of Capacitive Displacement Sensor With High Accuracy

作　　者：孟凡文[1] 高连军[2] 张玉香[2] 梁海霞[2] 

机构地区：[1]济宁职业技术学院 [2]山东济宁职业技术学院机电系

出　　处：《传感器世界》2007年第3期16-17,31,共3页Sensor World

摘　　要：采用多极板电容结构设计了电容位移传感器,由振荡器电路、二极管环形检波电路、低通滤波器、放大器等组成测试系统,测试了此传感器的位移-输出电压特性,并对测试数据进行回归分析。发现该传感器具有结构简单、灵敏度高、非线性误差小等特点,在位移等非电量测量方面具有较好的应用前景。A multi-polar plate capacitive displacement sensor is designed, and an corresponding testing system made up of oscillator circuit, diode loop detection circuit, low-pass filter and amplifier is manufactured. Displacement-output voltage property of the sensor is tested, and testing result is analyzed by regression method. The sensor has properties of simple structure, high sensitivity and small non-linearity error, and it is of high application prospect in displacement and other parameters measurement.

关 键 词：多极板电容传感器 测试系统 灵敏度 非线性误差 

分 类 号：TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]