CdTe多晶薄膜制备及后处理对CdS/CdTe界面的影响  

Influence of Growth and Annealing of Polycrystalline CdTe Films on Interfacial Properties of CdS/CdTe

作　　者：夏庚培[1] 郑家贵[1] 冯良桓[1] 蔡伟[1] 蔡亚平[1] 黎兵[1] 李卫[1] 张静全[1] 武莉莉[1] 雷智[1] 曾广根[1] 

机构地区：[1]四川大学材料科学与工程学院,成都610064

出　　处：《真空科学与技术学报》2007年第2期131-134,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

基　　金：中国高校博士点基金(No.20050610024);四川省应用基金项目(No.2006J13-083);国家863重点项目(No.2001AA513010)

摘　　要：采用近空间升华法分别在玻璃、CdS及CdS1-xTex衬底上沉积了CdTe多晶薄膜,通过原子力显微镜的观察和X射线衍射的分析,比较了它们的微结构。结果表明,用CdS和CdS1-xTex多晶薄膜作为衬底沉积的CdTe多晶薄膜结构与衬底相似,具有(111)面择优取向。通过对在不同氧分压下进行后处理的CdS/CdTe薄膜的断面及光能隙的研究,发现在氮氧(4∶1)气氛下后处理的薄膜CdS层明显减薄,这样的结果有利于改善CdTe太阳电池的光谱响应,增加载流子收集。我们认为氧在退火中促进了CdS/CdTe界面互扩散,扩散的结果不仅弥补了CdS、CdTe间的晶格失配,而且降低了界面的位错密度,并获得了面积为0.52 cm2,转换效率为13.38%的CdTe多晶薄膜电池。Polyerystalline CdTe films were grown by close-spaced sublimation（CCS） on substrates of glass, CdS and CAS1-xTex, respectively. A poly-CdTe solar cell with an area of 0.52 cm^2 and an efficiency of 13.38 % has been sueeessfially fabricated. The mierostructures of the films were characterized with X-ray diffraction（XRD）, scanning electron microscopy（SEM） and atomic force microscopy（AFM）, The results show that （111） is the preferential growth orientation of CdTe film on CAS and Cd1-xTex substmtes and that annealing,in a mixture with a nitrogen-oxygen partial pressure ratio of 4： 1, results in a considerable thinning of CdS layer, which favorably improves CdTe solar cell response and carrier collection. Possible mechanism（s） was also tentatively discussed.

关 键 词：CdTe多晶薄膜 界面 微结构 光能隙 

分 类 号：O484[理学—固体物理]