基于超声电机的X-Y精密定位工作台  

作　　者：白永明[1] 纪跃波[1] 黄卫清[2] 

机构地区：[1]南京航空航天大学精密驱动研究所,江苏南京210016 [2]集美大学机械工程与自动化研究所,福建厦门361021

出　　处：《机电技术》2007年第1期37-39,共3页Mechanical & Electrical Technology

基　　金：国家自然基金重点资助项目(50235010);江苏省博士后科研基金资助项目(0501021B)

摘　　要：超声电机是一种新型的微型电机,与传统的电磁电机相比它具有很多优点。基于这些优点超声电机可以在诸如定位、跟踪等方面有较好的应用。本文将超声电机作为于定位工作台的驱动部件,由两台行波型超声电机分别带动工作台的X、Y轴上的滚珠丝杠旋转,实现X-Y工作台的精确定位,定位精度可以达到2微米。

关 键 词：超声电机 工作台 精密定位 

分 类 号：TP23[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]