用对向靶溅射法外延生长La-Ca-Mn-O巨磁阻单晶薄膜  

作　　者：曾宪庭[1] 黄康权[1] 许建斌[2] 

机构地区：[1]香港中文大学物理系 [2]香港中文大学电子工程系

出　　处：《中国科学（A辑）》1996年第1期55-59,共5页Science in China(Series A)

基　　金：香港科学研究委员会基金资助项目

摘　　要：用对向靶溅射法(FTS)在(110)NdGaO_3基板上外延生长出La-Ca-Mn-O(LCMO)单晶薄膜,其三维晶体结构用高分辨率双晶X射线衍射技术(DCD)和掠面衍射技术(GID)分析,薄膜表面形貌用原子力显微镜(AFM)测量.结果表明,薄膜有c轴位于薄膜平面的类钙钛矿结构,所有已测量X射线衍射峰的摇摆曲线的半高宽度均约为0.01°,这是迄今报道过的陶瓷薄膜的最小结构参数.AFM图象清楚表明薄膜为单原子层状生长,表面原子层台阶高度为0.195nm.台阶宽度为360～400nm.台阶边缘沿(001)方向.原位生长的薄膜已具有较大的巨磁阻效应.

关 键 词：镧-锰系 氧化物 薄膜 对向靶溅射法 巨磁阻 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]