单振子双腔体压电薄膜泵的研究  

Experi mental Research on Double-Chambered Piezoelectric Pump with Single-Actuator

作　　者：张德君[1] 程光明[1] 杨志刚[1] 曾平[1] 

机构地区：[1]吉林大学机械科学与工程学院,长春130025

出　　处：《西安交通大学学报》2007年第3期380-382,共3页Journal of Xi'an Jiaotong University

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA431250);国家自然科学基金资助项目(505750932)

摘　　要：利用雕刻技术,以有机玻璃为原材料,加工制作了一种可双向工作的单振子双腔体压电薄膜泵,并对该结构压电泵的工作原理进行了阐述.通过对单振子双腔体压电薄膜泵的输出流量和压力的测试,得出在输入100 V正弦交流信号时,它的最佳工作频率为20 Hz,输出流量为785 mL/min,输出压力为14 kPa,表明单振子双腔体压电泵在低频工作时,其输出流量优于单振子单腔体压电泵,而且能够提高机械转化效率,工作过程无脉动现象.

关 键 词：压电薄膜泵 双腔体 单振子 

分 类 号：TH38[机械工程—机械制造及自动化]