光栅线位移传感器的误差分析  

作　　者：纪刚[1] 叶军[1] 

机构地区：[1]青岛大学

出　　处：《青岛大学学报（工程技术版）》1996年第2期24-28,共5页Journal of Qingdao University(Engineering & Technology Edition)

摘　　要：在光栅测量仪器中，光栅传感器的误差是影响整个仪器精度的主要因素，主要产生在光栅的刻制、传感器结构及传感器的安装等方面。本文着重分析了光栅线位移传感器的误差来源，并给出了相应的消误差方法，为提高传感器设计精度提供了理论依据。

关 键 词：光栅线 位移传感器 莫尔条纹 误差分析 

分 类 号：TH741.6[机械工程—光学工程]