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作 者:戴瑞烜[1] 陈诺夫[1] 张兴旺[1] 彭长涛[1] 吴金良[1]
机构地区:[1]中国科学院半导体研究所材料重点实验室,北京100083
出 处:《Journal of Semiconductors》2007年第5期661-664,共4页半导体学报(英文版)
基 金:国家自然科学基金(批准号:60176001,60390072);国家重点基础研究专项基金(批准号:2002CB311905)资助项目~~
摘 要:Ferromagnetic MnSb films were synthesized on Si wafers by physical vapor deposition. X-ray diffraction revealed that the films primarily consisted of MnSb alloy. Nanorods and nanoleaves were observed in the MnSb films by field-emission scanning electron microscopy. These nanorods had an average diameter of 20nm and a length of up to hundreds of nanometers. The nanoleaves had a width and thickness of about 100 and 20nm, respectively. Magnetic hysteresis loops were measured by an alternative gradient magnetometer, and the loops showed strong geometrical anisotropy.提供了一种利用物理蒸发沉积技术在单晶硅上生长纳米尺度的MnSb薄膜的方法.X射线衍射分析表明薄膜的主要成分是MnSb合金.场发射扫描电镜观察到薄膜是由纳米尺寸的棒状物和叶状物组成.纳米棒的平均直径为20nm,长度在几百纳米范围内.纳米叶的厚度大约为20nm,宽度为100nm左右.用可变梯度磁力计测量了薄膜的磁滞回线,结果显示薄膜有很强的几何各向异性.
关 键 词:FERROMAGNETIC MNSB nanorods and nanoleaves physical vapor deposition
分 类 号:TM271[一般工业技术—材料科学与工程]
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