小型锆吸气泵在真空靶室中的应用研究  

Application of mini-type zirconium getter pump in vacuum chamber

作　　者：张小东[1] 张国光[1] 邱孟通[1] 宋纪文[1] 李大海[1] 陈亮[1] 

机构地区：[1]西北核技术研究所,陕西西安710024

出　　处：《真空》2007年第3期43-46,共4页Vacuum

摘　　要：本文主要介绍了锆吸气泵的原理,以及在真空靶室上应用锆吸气泵所获得的良好结果,为解决靶室静态真空保持问题提供新的思路和技术方法。Describes the working principle of zirconium getter pump, and the good result of applying the pump in vacuum target chamber. A new technological solution are therefore offered to keep the problem of how to keep the target chamber in vacuum statically.

关 键 词：真空靶室 静真空保持 锆吸气泵 

分 类 号：TB752.5[一般工业技术—真空技术]