富士通介绍碳纳米管布线技术进展  

出　　处：《现代材料动态》2007年第5期24-24,共1页Information of Advanced Materials

摘　　要：富士通和富士通研究所介绍了日本半导体协会正在开发的采用碳纳米管的布线技术。目标是32nm工艺以后的实用化。

关 键 词：富士通研究所 碳纳米管 布线技术 技术进展 半导体 实用化 开发 协会 

分 类 号：TN405.97[电子电信—微电子学与固体电子学]