ATMI与安集微电子推出替代型低成本铝清洗解决方案  

出　　处：《电子工业专用设备》2007年第4期67-67,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：IDEAL Clean^TM高性能清洗解决方案锁定中国市场. ATMI，Inc．与安集微电子（上海）有限公司（以下简称“安集微电子”）今天宣布向市场推出IDEAL Clean^TM高性能清洗解决方案。IDEAL Clean^TM是一种优越的蚀刻后灰烬铝清洗化学物质，它具有与以羟胺为基础的化学产品相当或更优的性能，但是拥有它的成本却得以大幅降低。

关 键 词：ATMI 微电子 低成本 清洗 IDEAL 铝 中国市场 化学物质 

分 类 号：TN915.04[电子电信—通信与信息系统]