不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究  

Experimental studies on TiN film sputter coating on the inner face of stainless steel pipe

作　　者：王勇[1] 张耀锋[1] 尉伟[1] 王建平[1] 范乐[1] 蒋道满[1] 朱存宝[1] 刘祖平[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥230029

出　　处：《中国科学技术大学学报》2007年第4期509-513,共5页JUSTC

基　　金：国家自然科学基金(10245002)资助

摘　　要：在不锈钢管道溅射镀膜装置上，通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析，得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数．实验结果表明，在压强为80～90Pa、基体温度为160～180℃的镀膜参数下，不锈钢管道内壁能获得符合加速器物理要求的TiN薄膜．An analysis of experiments of TiN coating on pipe surface was conducted employing the splutter coating system, and suitable parameters of vacuum chamber surface TiN coating was obtained. The experiment results show that TiN film on chamber surface with proper characteristics can be ～90 Pa and 160～180℃ of coated surface temperature.

关 键 词：直流溅射 TIN膜 真空室镀膜 表面处理 

分 类 号：TB741[一般工业技术—材料科学与工程] TN305.92[一般工业技术—真空技术]