压电双晶片驱动的压电微泵的研究  

Study on Piezoelectric Micropump Driven by PZT Bimorph

作　　者：王海宁[1] 崔大付[1] 耿照新[1] 陈兴[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100080

出　　处：《压电与声光》2007年第3期302-304,共3页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：国家自然科学基金重点项目(60427001);国家自然科学基金重大项目(20299030);国家自然科学基金项目(60501020)

摘　　要：介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流量进行了测试。在100 V、20 Hz的方波驱动下,该压电微泵的最大输出流量为317μL/min。结果显示该压电微泵的制作工艺简单,具有良好的流体驱动性能。A piezoelectric micropump based on MEMS technology is presented. Polydimethylsiloxane （PDMS） is utilized to form the diaphragm, two passive check valves are formed by anisotropic etching of bulk silicon, and a piezoelectric bimorph is used as the actuator. The displacement of the PZT bimorph and the chamber volume change are analyzed, and the flow rate is measured. When a 100 V, 20 Hz square wave signal is applied, the piezoelectric micropump reaches its maximum flow rate, 317 μL/min. The result shows that the piezoelectric micropump-is easy to fabricate and has a good performance to propel liquids.

关 键 词：微泵 压电双晶片 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 

分 类 号：TH137.33[机械工程—机械制造及自动化]