基于光谱光学相干层析技术的膜系反射光谱测量  

Reflectance Spectrum Measurement of Multilayer Film by Spectroscopic Optical Coherence Tomography

作　　者：陈宇恒[1] 丁志华[2] 孟婕[2] 

机构地区：[1]苏州大学现代光学技术研究所 [2]浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州310027

出　　处：《中国激光》2007年第6期825-828,共4页Chinese Journal of Lasers

基　　金：国家863计划(2006AA02Z4EO);国家自然科学基金(60378041;60478040);浙江省自然科学基金(Z603003);教育部博士点基金(20030335099);霍英东青年教师基金(91010);教育部新世纪优秀人才支持计划;浙江省"新世纪151人才工程"资助项目

摘　　要：根据光谱光学相干层析(OCT)技术的原理,建立了光谱光学相干层析系统,并利用该系统测量了膜系的反射光谱。该方法通过傅里叶变换实现了光学相干层析信号光谱信息的提取,克服了传统反射测量方法测量结果不直观、受非测量面干扰等问题。测量所得的光谱反射率,与商业仪器的测量值吻合较好,均方差仅为0.0488。A spectroscopic optical coherence tomography （OCT） system based on the principle of spectroscopic OCT was built, and the reflectance spectrum of multilayer film was measured. This method uses the Fourier transform to pick out the spectral information of OCT signals, and overcomes such limitations of existent film reflectivity measurement methods as lack of intuitionstic results and non-metrical surface interference. The gained spectral reflectivity matches well with the result calibrated by commercial instrument, and the mean square error turns out to be only 0. 0488.

关 键 词：薄膜 光谱测定 光谱光学相干层析 傅里叶变换 多层膜系 反射率 

分 类 号：TN247[电子电信—物理电子学]