多孔硅表面形貌的观测和探讨  

作　　者：李刚[1] 万歆[1] 朱永强[1] 戴道宣[1] 

机构地区：[1]复旦大学物理系,上海200433

出　　处：《物理实验》1997年第2期66-67,共2页Physics Experimentation

关 键 词：多孔硅 表面形貌 

分 类 号：TN204[电子电信—物理电子学] TN304.12