线性边带的费涅尔波导透镜  

FRESNEL WAVEGUIDE LENSES OF LINEAR SIDE ZONE

作　　者：管秀荣[1] 蔡德水[1] 

机构地区：[1]天津大学

出　　处：《高速摄影与光子学》1990年第2期174-176,共3页

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：本文提出一种线性边带的费涅尔透镜。它不但具有衍射受限的聚焦特性和极高的衍射效率,而且工艺得到显著简化。在氮化硅波导上进行的工艺实验表明,实验结果与理论分析有很好的一致性。A Freanel waveguide lens of linearside zone is represented It not only exhibits theoretically excelent characteristics, but also simplifiers the mask process. The experi-ment results on silicon nitride waveguide are in good agrement with the theoretical analysis.

关 键 词：集成光学 波导 透镜 费涅尔透镜 

分 类 号：TN256[电子电信—物理电子学]