真空镀膜工艺概述（续）  

作　　者：宜桀 

出　　处：《船用导航雷达》2007年第2期18-21,共4页

摘　　要：（2）溅射式喷镀法 （a）溅射原理 大气中存在着10的19次方个每立方厘米的氧气和氮气等气体分子，它们以500米／秒的速度运动着。运动速度加快后其对物体的冲击力也将增强，并有可能侵入到固体的内部。侵入固体内的原子（或分子）将会与形成固体的原子发生冲突，这种原子问的冲突会诱发二次的冲突。

关 键 词：真空镀膜工艺 运动速度 气体分子 喷镀法 冲击力 原子 溅射 固体 

分 类 号：O552.3[理学—热学与物质分子运动论]