一种纳米分辨率近场光学显微镜——光子扫描隧道显微镜  被引量:6

A Near Field Optical Microscope—Photon Scanning Tunneling Microscope with Nanometer Resolution

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作  者:姚骏恩[1,2,3] 吴世法[1,2,3] 高崧[1,2,3] 郭宁[1,2,3] 商广义[1,2,3] 初世超[1,2,3] 贺节 夏德宽[1,2,3] 李成基[1,2,3] 徐绍华[1,2,3] 

机构地区:[1]中国科学院北京电子显微镜实验室 [2]大连理工大学应用物理系 [3]中国科学院半导体研究所

出  处:《电子显微学报》1997年第3期223-228,共6页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘  要:报导了我们研制的一台光子扫描隧道显微镜。论述了原理,结构,光纤探针制造,信号放大以及调试中解决的几个技术问题等。图像的横向分辨率优于10nm,纵向分辨率约1nm,扫描范围10μm×10μm。还观察了云母。A simple PSTM with much better resolution than a conventional optical microscope, laterally~10nm and vertically~1nm with a max. scanning range of 10μm×10μm was described. Its principle, construction, fiber optic tip fabrication, and some PSTM images of different samples such as diffraction grating, high density polyethylene(HDPE), mica and the electro optical effect of a (LiNbO 3+Ti) wave guide were presented.

关 键 词:近场光学显微镜 光子扫描隧道 显微镜 

分 类 号:TN16[电子电信—物理电子学]

 

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