Ti（Y）N涂层的制备和性能  

作　　者：豫民 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1997年第2期16-16,共1页

关 键 词：氮化钛 涂层 等离子体 

分 类 号：TG174.45[金属学及工艺—金属表面处理]