高反射率周期性铁电多层膜形成机理研究  

FORMATION MECHANISM OF PERIODICAL FERROELECTRIC MULTILAYERS WITH HIGH OPTICAL REFLECTIVITY

作　　者：胡古今[1] 洪学鹍[1] 陈静[1] 褚君浩[1] 戴宁[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海200083

出　　处：《红外与毫米波学报》2007年第2期89-91,共3页Journal of Infrared and Millimeter Waves

基　　金：国家自然科学基金(60578058);国家杰出青年基金(60225004);上海市科技专项(0452nm085)资助项目

摘　　要：利用含聚合物添加剂的前驱体溶液,通过重复甩胶镀膜—热处理工艺制备了PbZrB0.4BTiB0.6B0.6OB3(PZT)和BaTi0.9Sr0.1BO3(BST)铁电多层膜.在特定的波长范围,每个多层膜具有高达90%的光学反射率,且峰值反射率随生长次数的增加而增大.显微技术分析表明每个多层膜是由一系列厚度几乎相等的致密层和厚度也近乎相同的多孔层交替排列形成的一维周期性结构.重点分析了这种周期性结构的可能形成机理,它涉及相分离和高分子聚合物热解两个过程.Ferroelectric PbZrB0. 4B TiB0. 6B0.6OB3 （PZT） and BaTio. 9 Sr0.1B O3 （BST） muhilayers were fabricated by a repeated spin-coating/annealing step of using precursors containing polymer additive. Both the muhilayers have more than 90% optical reflectivity at a given wavelength range and the maximum reflectivity increases with the number of growth. The microprobe analysis shows that the muhilayers exhibit a lamellar structure consisting of alternating dense and porous layers. The possible formation mechanism for the periodical ferroelectric muhilayers is examined, which involves phase separation and pyrolysis of polymer.

关 键 词：铁电多层膜 周期性 相分离 热解 

分 类 号：O469[理学—凝聚态物理]