氮化铝陶瓷的微波烧结研究  

MICROWAVE SINTERING OF AlN CERAMICS

作　　者：徐耕夫[1] 李文兰[1] 庄汉锐[1] 徐素英[1] 罗新宇[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海硅酸盐研究所

出　　处：《硅酸盐学报》1997年第1期89-95,共7页Journal of The Chinese Ceramic Society

摘　　要：利用ＴＥ１０３单模腔微波烧结系统对ＳＨＳ制备的ＡｌＮ粉（添加３％（ｍａｓ）Ｙ２Ｏ３）的加热烧结特征，烧结样品的显微结构进行了研究。通过适当的保温措施和烧结工艺实现了ＡｌＮ陶瓷的微波快速烧结。实验发现在相对较低的测量温度（１６００℃）保温４ｍｉｎ，样品可达到９８．７％的理论密度，ＳＥＭ和ＴＥＭ分析表明，试样内部晶粒细小。Microwave sintering behavior of SHS prepared AlN powders is presented in the paper.AlN samples with 3% Y 2O 3 as additives can be rapidly sintered to 98 7% TD at 1600℃ by proper packing powder and sintering method in a single mode cavity operating at 2 45 GHz within 5～7 minutes.The results show that sintered samples have high density,relatively finer grain size and uniform microstructure.

关 键 词：氧化铝陶瓷 微波烧结 烧成 陶瓷 

分 类 号：TQ174.758[化学工程—陶瓷工业] TQ174.652[化学工程—硅酸盐工业]