微型加速度计  

作　　者：杨庭楣 

出　　处：《惯性世界》1997年第1期6-8,共3页For Ship.Armour.Aircraft.Spacecraft & Weapornry

摘　　要：微型加速度计是一种新型的加速度计,它采用固体集成电路的微加工技术,将加速度计的敏感元件及其电子线路集成在一块硅片上,或者分别集成,然后封装在一起。

关 键 词：微型 加速度计 原理 性能指标 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术] V241.45[机械工程—精密仪器及机械]