ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程  

Reaction Temperature Change and Surface Reaction Rate Equation of Zinc Oxide Thin Film Gas Sensor

作　　者：李长庆[1] 邢建平[1] 黄少艳[1] 徐勇[2] 裘南畹[3] 

机构地区：[1]山东大学信息科学与工程学院,济南250100 [2]山东大学水电中心,济南250100 [3]山东大学纳米薄膜电子功能材料实验室,济南250061

出　　处：《传感技术学报》2007年第8期1723-1726,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家自然自然科学基金项目资助(60372030);山东省火炬计划项目资助(111600/04040214)

摘　　要：提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方程一般形式,它包括了目前常用的两种经验公式:双曲线型和幂函数型.A method to research the reaction temperature change of gas sensor and its material, the corre- sponding experiment apparatus was proposed. The relationship between the reaction temperature change Δtrea and the gas concentration C was given. From the formula of reaction exothermic rate Ptea∝Δtrea, the general expression of surface reaction rate equation yielded, which contains two common using experience formulas, hyperbola type and power type.

关 键 词：ZNO 薄膜 反应温变 表面 速率方程 

分 类 号：TP212.3[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]