双通道声表面波转速传感器  

Dual-Channel SAW Rotation Sensor

作　　者：严庆文[1] 魏益群[1] 李业隆[2] 沈美娥[1] 朱嘉林[1] 

机构地区：[1]北京信息工程学院,北京100101 [2]北京工商大学,北京100037

出　　处：《微纳电子技术》2007年第7期260-262,共3页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60374040);北京市自然科学基金资助项目(2063027)

摘　　要：以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器。通过实验,该传感器的分辨率为12Hz/r.s-1。The relationship between surface acoustic wave （SAW） propagating velocity and the rotating velocity of the LiNbO3 substrate was obtained by calculating numerical value based on the SAW gyroscopic effect. A dual-channel delay line was designed according to the above calculation, and the SAW rotation sensor was developed. The resolution of the SAW rotation sensor is 12 Hz/r· s^-1 through the experiment.

关 键 词：声表面波 陀螺效应 角速力传感器 

分 类 号：TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]