ArF准分子激光振荡放大系统的研究  

Researching on ArF Oscillator Amplifier Excimer Laser

作　　者：赵震声[1] 陈永荣 胡雪金 谷怀民 奚居雄 张虎 袁廷海 匡梅 姚建铨[2] 吴峰[2] 施翔春[2] 

机构地区：[1]中国科学院安徽光学精密机械研究所 [2]天津大学激光与光电子技术研究所

出　　处：《光学学报》1997年第2期140-145,共6页Acta Optica Sinica

摘　　要：研究了ＡｒＦ准分子激光振荡放大系统，中心波长１９３ｎｍ。用一只闸流管作为开关元件，通过主充放电网络匹配，有效地解决了两台器件的放电抖动，振荡放大倍数达到约５０倍，系统单脉冲输出能量５０ｍＪ。光束发散角低于０．２０ｍｒａｄ。An ArF oscillator amplifier excimer laser was developted. Using a thyratron as a switch, discharge jitter of the laser system was effectivelly overcome through matching main charge and discharge circuits. It was achieved that amplify index 50 of the system, pulse energy 50 mJ, and a beam divergence lower than 0.20 mrad.

关 键 词：准分子 激光 振荡放大 

分 类 号：TN241[电子电信—物理电子学]