凝视PtSi红外焦平面列阵的结构和性能  

作　　者：杨亚生[1] 

机构地区：[1]重庆光电技术研究所

出　　处：《半导体技术》1997年第2期47-52,共6页Semiconductor Technology

摘　　要：ＰｔＳｉ红外焦平面列阵（ＦＰＡ）的结构设计，必须有利于提高器件的性能参数。ＩＴＣＣＤ（内线转移电荷耦合器件）是迄今ＰｔＳｉＦＰＡ用得最多的读出结构，采用隔行扫描ＩＴＣＣＤ和逐行扫描ＩＴＣＣＤ结构，均做出了高性能的ＰｔＳｉＦＰＡ。但因ＩＴＣＣＤ结构的固有特点，对小象元尺寸，填充系数很难提高。而缩小象元尺寸、增大填充系数是大型凝视ＰｔＳｉＦＰＡ的发展方向和必由之路。为此，近年来国外采用了一些新的器件结构，如ＣＳＰ、ＬＡＣＡ、ＭＯＳ、ＤＳＩ、硅圆柱透镜列阵、混合式结构等。

关 键 词：凝视 红外焦平面列阵 探测器 硅化铂 

分 类 号：TN214.03[电子电信—物理电子学]