Miles集成衍射光栅的指向性硅微传声器  

作　　者：籍顺心[1] 

机构地区：[1]中国科学院声学研究所,北京100080

出　　处：《声学学报》2007年第5期477-480,共4页Acta Acustica

摘　　要：Miles研究小组受Ormia ochrace寄生蝇声定位机理的启发,通过集成信号的衍射光栅读取技术,从原理上、方法上对现有硅微传声器进行了极大的拓展,赋予了硅微传声器极强的指向性,其指向性基本达到了理想的压差传声器的8字型,可有效抑制干扰和噪声,并克服了现有硅微传声器的如寄生电容、蚀刻粘连等诸多局限性。这一发展必将给硅微传声器带来更广泛的应角范围。

关 键 词：微传声器 衍射光栅 指向性 集成 硅 定位机理 抑制干扰 寄生电容 

分 类 号：TN641[电子电信—电路与系统]