利用热反应性等离子体沉积TiN薄膜  

作　　者：豫民 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1997年第6期5-6,共2页

关 键 词：石墨基体 热反应等离子体 氮化钛 薄膜沉积 

分 类 号：TB43[一般工业技术]