等离子体辅助CAD制备坚硬的单层和多层涂层  

作　　者：杨继芳 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1997年第4期17-17,共1页

关 键 词：等离子体 PACVD 金属 涂层 单层 多层 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]